基于SEM表征平台对碳化硅陶瓷微结构-相变关系的研究

来源 :第十一届无机材料结构、性能及测试表征技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vancentfcf
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  碳化硅陶瓷材料具有良好的耐磨性、导热性、抗氧化性及优异的高温力学性能,被广泛应用于能源环保、化工机械、半导体、国防军工等领域。采用AIN与Y2O3作为助烧剂液相烧结的碳化硅陶瓷的烧结过程与微观结构之间存在不可分割的联系,而SEM平台是研究相关系与显微组织演变的有效手段,因此本研究基于SEM技术对碳化硅的相变与微结构展开一系列讨论研究。
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