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应用应力-强度干涉模型、疲劳寿命可靠性分析和二阶矩等方法，分析了加工精度、加工工艺方法和表面划痕对机械部件可靠性的影响，并提出了相应的可靠度计算方法，计算结果表明，不同加工工艺方法对机械部件表面完整性和可靠性有很大的影响；由划痕导致的表面损伤将使机械部件的可靠度降低；部件可靠度是随加工精度的变化而变化的，加工精度提高，部件可靠性也提高，精度等级越高对可靠性越不敏感。