【摘 要】
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由于可以对纳米级别的周期性光学结构进行快速、准确、非破坏性测量,光谱椭偏仪越来越广泛的应用在半导体等领域中 [1].近年来,随着关键尺寸(critical dimension)的不断减小,
【机 构】
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华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074
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由于可以对纳米级别的周期性光学结构进行快速、准确、非破坏性测量,光谱椭偏仪越来越广泛的应用在半导体等领域中 [1].近年来,随着关键尺寸(critical dimension)的不断减小,半导体工艺中的光栅刻蚀区域也在不断减小.这也对椭偏仪的探测光斑也提出了更高的要求.一般的,椭偏仪的光路中都会使用有限数值孔径的汇聚透镜,以获得更小的探测光斑.然而这满足半导体领域测量要求的同时,又带来了新的问题.
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