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TiO<,2>薄膜的液相沉积法制备及其电色性能研究
TiO<,2>薄膜的液相沉积法制备及其电色性能研究
来源 :中国空间科学学会空间材料专业委员会'99学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:buzadi3
【摘 要】
:
该文采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO薄膜,并研究了薄膜在热处理过程中的变化和薄膜的锂离子注入特性,发现随着薄膜热处理温度的升高,薄膜在循环伏安过程中注入/抽出的电量减少
【作 者】
:
王晓萍
于云
高濂
胡行方
【机 构】
:
中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)
【出 处】
:
中国空间科学学会空间材料专业委员会'99学术交流会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
薄膜
液相沉积法
法制
热处理温度
热处理过程
注入特性
循环伏安
变色效应
锂离子
对电极
阴极
器件
电量
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论文部分内容阅读
该文采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO<,2>薄膜,并研究了薄膜在热处理过程中的变化和薄膜的锂离子注入特性,发现随着薄膜热处理温度的升高,薄膜在循环伏安过程中注入/抽出的电量减少,薄膜表现弱的阴极变色效应,可望用作器件的对电极。
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