【摘 要】
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本文针对一种应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性进行了研究.其中器件中的声场分为两部分进行分析,即器件中微型薄膜振动所激发的声场与流体介质对薄膜振动造成的
【机 构】
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361005 厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心,福建厦门
【出 处】
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2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会
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本文针对一种应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性进行了研究.其中器件中的声场分为两部分进行分析,即器件中微型薄膜振动所激发的声场与流体介质对薄膜振动造成的声衰减.文中首先对微器件中氮化硅薄膜振动所产生的声压进行分析,得出了器件不同工作模式下的薄膜振动声压,其次研究了超声MEMS器件中四端固支薄膜结构在流体作用下的声压衰减特性,进一步讨论了影响衰减声压的因素.在两部分的分析结果基础上,得出了MEMS超声分离装置中作用于微纳米颗粒的有效声压,并采用有限元方法软件ANSYS对微器件进行结构,流体耦合场分析,得出了微器件中的声压分布特性.本文论述的分析方法可应用于同类型的超声MEMS器件中振动结构的声学特性分析.
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