【摘 要】
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本研究提出一種新型的退火製程,即以常壓電漿退火製備γ-Fe2O3 薄膜.先以旋轉塗佈將前驅溶液鍍著於玻璃基材上,經不同乾燥時間後,再以常壓電漿於500℃下退火製備薄膜.由X 光繞射儀及拉曼光譜儀分析結果後顯示,α-Fe2O3 相可在乾燥一天後生成,而γ-Fe2O3 相可在乾燥後兩天以上生成.α-Fe2O3 薄膜的厚度為172 nm,在可見光區的最大穿透率約為35％,光學能隙為2.10 eV,α-F
【机 构】
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國立高雄應用科技大學 化學工程與材料工程系
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本研究提出一種新型的退火製程,即以常壓電漿退火製備γ-Fe2O3 薄膜.先以旋轉塗佈將前驅溶液鍍著於玻璃基材上,經不同乾燥時間後,再以常壓電漿於500℃下退火製備薄膜.由X 光繞射儀及拉曼光譜儀分析結果後顯示,α-Fe2O3 相可在乾燥一天後生成,而γ-Fe2O3 相可在乾燥後兩天以上生成.α-Fe2O3 薄膜的厚度為172 nm,在可見光區的最大穿透率約為35％,光學能隙為2.10 eV,α-Fe2O3 薄膜導電率為2.94 x 10-4S/cm,載子濃度為3.28 x 1014 cm-3.此外,γ-Fe2O3 薄膜的厚度乾燥後兩天及三天分別為150 nm 及134 nm,在可見光範圍下最大穿透度約40％,光學能隙約為2.20 eV.兩天時導電率為(2.93±0.01)×10-2S/cm,而三天時導電率為(1.06±0.002)×10-1S/cm,載子濃度約在1018～1019 cm-3 個數量級.本方法所製備之γ-Fe2O3 薄膜其性質皆與文獻相符,但以常壓電漿退火具有一步製程、低成本及快速製備的優點.
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