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超大规模电路中铝金属化的应力迁移

来源 :中国电子学会可靠性分会第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：radeon0118

【作 者】

：

杨兴 

【机 构】

：

复旦大学

【出 处】

：

中国电子学会可靠性分会第七届学术年会

【发表日期】

：

1994年期

【关键词】

：

大规模电路 铝金属化 

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