【摘 要】
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本文采用不同工艺制备致密的AlN陶瓷,并对其高频介电性能和热导率进行了研究,结果表明不同的添加剂对介电性能和热导率均有影响,但是烧结温度是主要影响因素;高热导率样品并
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
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本文采用不同工艺制备致密的AlN陶瓷,并对其高频介电性能和热导率进行了研究,结果表明不同的添加剂对介电性能和热导率均有影响,但是烧结温度是主要影响因素;高热导率样品并不一定具有低的高频损耗,适当降低烧结温度是降低AlN陶瓷高频损耗的有效手段,但是会降低AlN陶瓷的导热性能,说明在本文实验条件下,AlN陶瓷的高频损耗机制和导热机制不同,或者在降低高频损耗和提高热导率之间存在一个平衡点.
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