【摘 要】
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角度散射儀(angularscatterometer)用於量測元件關鍵尺寸(criticaldimension),具有次奈米的解析度與精確度,因而被視爲次世代微影疊對量測(overlaymetrology)的利器之一.由於
【机 构】
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工業技術研究院量測技術發展中心,台灣,新竹,300
【出 处】
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第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会
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角度散射儀(angularscatterometer)用於量測元件關鍵尺寸(criticaldimension),具有次奈米的解析度與精確度,因而被視爲次世代微影疊對量測(overlaymetrology)的利器之一.由於光柵式疊對圖樣直接影響角度散射儀的量測靈敏度,本文將說明如何以嚴格耦合波理論(RigorousCoupledWaveTheory)進行圖樣的幾何參數模擬設計,藉以得到最佳的疊對圖樣,使得量測系統具有最高的靈敏度.
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