【摘 要】
：
本文分析了目前几种常见的化学机械抛光(CMP)机中抛光头与抛光垫的运动关系,针对不同的硅片运动形式,计算了磨粒在硅片表面的运动轨迹;通过对磨粒在硅片表面上的运动轨迹
【机 构】
：
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024
【出 处】
：
全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议
论文部分内容阅读
本文分析了目前几种常见的化学机械抛光(CMP)机中抛光头与抛光垫的运动关系,针对不同的硅片运动形式,计算了磨粒在硅片表面的运动轨迹;通过对磨粒在硅片表面上的运动轨迹分布的统计分析,得出了硅片在不同运动形式下的片内材料去除非均匀性.从硅片表面材料去除非均匀性方面,对几种抛光机的运动形式进行了比较,结果表明,弧形摆动式抛光机所产生的硅片内非均匀性最小.本文的研究为CMP机床的设计和使用中选择和优化运动参数提供了理论依据.
其他文献
为了孩子能健康成长,一些家长过早地让孩子从事某些健体运动,殊不知有些健体运动不仅不利于孩子身体的发育,反而容易造成伤害。天津市妇女儿童保健中心的保健专家指出,正处于
近年来镇海区伤害死亡居重要位置,为探索其成因,为防治措施提供必要的依据,对2005～2007年居民的伤害死亡资料进行统计分析。1材料与方法1.1材料资料来源于居民病伤死因年报表
本文介绍了近年来国内外WEDM数控系统的发展及关键技术的研究状况,主要分析了当前开放式系统的特征分类及应用前景、基于Windows系统及Linux操作系统的线切割CAM软件的完
针对某露天铜矿电铲生产和维修管理的实际情况,收集大量数据,采用数理统计回归分析法、技术经济学、以及设备管理等理论,正确建立了电铲日常维修成本模型、间接维修成本
目的了解樟树市手足口病发病特征及流行态势。方法应用描述流行病学方法对樟树市2008-2009年手足口病监测资料进行分析。结果 2008-2009年樟树市共报告手足口病66例,重症1例(
本文开发了一种新型的激光汉字加工自动编程系统,包括字形信息提取、字形数据处理、数控代码转换、数控代码仿真等模块,并给出了加工实例.该系统工作稳定可靠,加工质量较
2007年5月23日至8月1日,不到3个月时间,S市卫生局应当事人申请对两起处罚案件举行了两次听证会。非常“巧合”地,两起案件呈现出6个“相同”:案件的当事人相同,均为H大厦;经
本文介绍光纤对接(包括光纤与光纤的对接和光纤与有源器件的对接)的基本原理及特点,根据其特点,介绍了超精密定位与检测技术在光纤对接中的应用;对光纤对接平台的国内外
利用自行研制的混粉电火花加工装置,对高强度、高熔点的特殊材料的加工进行研究,通过优化工艺参数,成功地在直径为φ50mm的圆面积上使加工表面粗糙度值达到Ra0.174μm.经
随着经济的发展,医疗卫生体制发生了巨大变化,个体诊所作为公立医院和社区卫生服务站的有效补充迅速发展起来,成为医疗卫生事业中不可缺少的重要组成部分。工作量的不确定性