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微夹持技术是微机械（MEMS）及其部件装配与维护的关键技术之一。该文以微夹持器的分类与研究成果进行了分析总结，阐述了典型微夹持器的组成结构及其工作原理，指出当前微夹持器研制的发展方向，以期对微夹持器的研究工作起一定借监作用。
微夹持器现状及其发展
【摘 要】
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微夹持技术是微机械（MEMS）及其部件装配与维护的关键技术之一。该文以微夹持器的分类与研究成果进行了分析总结，阐述了典型微夹持器的组成结构及其工作原理，指出当前微夹持器研制
【机 构】
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清华大学精密仪器系(北京)
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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