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用磁控油射方法及选择铌阳极氧化和选择铌刻蚀工艺制备了Nb/Al-AlO<,x>/Nb全铌隧道结，给出了工艺要点。根据全铌结的参量，设计了全铌隧道结dc SQUID。制成的dc SQUID的传输函数δV/Φδ1.4mV/Φ<,0>，其本征能量分辨率达到24 h。
全铌隧道的工艺以及dc SQUID研究
【摘 要】
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用磁控油射方法及选择铌阳极氧化和选择铌刻蚀工艺制备了Nb/Al-AlO/Nb全铌隧道结，给出了工艺要点。根据全铌结的参量，设计了全铌隧道结dc SQUID。制成的dc SQUID的传输函数δV/
【机 构】
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中国科学院物理研究所(北京)
【出 处】
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第四届全国低温工程学术会议
【发表日期】
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2000年期
其他文献
介绍了用纯铌、钛经扩散反应形成铌钛超导体的新工艺，这种工艺并下需要析出热处理。实验表明，铌钛之间的相互扩散需要在较高的温度条件下进行。