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来源 :The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【作 者】
:
Jaroslav Vlcek
Jiri Rezek
Petr Steidl
【机 构】
:
UniversityofWestBohemia,Univerzitni22,Plzen30614,CzechRepublic
【出 处】
:
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
:
2011年9期
【关键词】
:
Pulsed magnetrons
Reactive sputtering
High-rate deposition
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