【摘 要】
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"镜框"效应是一个通常用于描述因膜层厚度差异而导致靠近玻璃边部位置颜色产生色差的术语.在某些情况下,这种膜层厚度的差异会导致最大的不均匀性.在高沉积速率反应溅射工艺
【机 构】
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应用材料公司 Siemensstrasse 100 63755 Alzenau Germany
【出 处】
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2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会
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"镜框"效应是一个通常用于描述因膜层厚度差异而导致靠近玻璃边部位置颜色产生色差的术语.在某些情况下,这种膜层厚度的差异会导致最大的不均匀性.在高沉积速率反应溅射工艺下,由于玻璃基片和沉积源之间的相互作用,膜层厚度会相对地突然变化.通过修改工艺条件和调整设备参数可以降低这种相互作用,减小镜框效应.本文论证了几种沉积条件对产生这种效应的影响结果,并阐述了用控制工艺气体流动来减轻小片玻璃镜框效应的有效方法.
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