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本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性.
基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究
【摘 要】
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本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性.
【机 构】
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清华大学精密仪器及机械学系(北京)
【出 处】
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中国仪器仪表学会第三届青年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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