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阐明二元ZrN涂层，三元Zr-Y-N涂层、Zr-Si-N涂层纳米复台涂层以及ZrN/Si3N4纳米多层涂层的塑性变形机制;研究了加载基体偏压，掺杂活性元素、引入纳米复台结构以及纳米多层对氮化物硬质涂层塑性变形机制的影响作用;利用涂层的塑性变形机制理论.探究纳米结构氮化物硬质涂层的致硬机理.
纳米结构硬质涂层塑性变形机制及致硬机理研究
【摘 要】
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阐明二元ZrN涂层，三元Zr-Y-N涂层、Zr-Si-N涂层纳米复台涂层以及ZrN/Si3N4纳米多层涂层的塑性变形机制;研究了加载基体偏压，掺杂活性元素、引入纳米复台结构以及纳米多层对氮化
【机 构】
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廈門大學
【出 处】
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第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
【发表日期】
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2016年10期
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