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会议论文
半导体器件计算机模拟与器件结构的优化设计
半导体器件计算机模拟与器件结构的优化设计
来源 :中国电子学会第五届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwf5278
【摘 要】
:
在简要介绍玫种流体动力学模型的基础上,对常规及LDD器件进行了数值模拟,结果验证了LDD结构能够有效减轻热载流子效应,同时也说明了该文开发成功的SMDS系统对半导体新型器件结构优化设计与
【作 者】
:
刘其贵
吴金
杨廉峰
夏君
【机 构】
:
大学微电子中心(南京)
【出 处】
:
中国电子学会第五届青年学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
半导体器件
计算
机模拟
流体动力学模型
结构优化设计
载流子效应
数值模拟
结果验证
系统
开发
基础
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在简要介绍玫种流体动力学模型的基础上,对常规及LDD器件进行了数值模拟,结果验证了LDD结构能够有效减轻热载流子效应,同时也说明了该文开发成功的SMDS系统对半导体新型器件结构优化设计与分析有重要的指导作用。
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