【摘 要】
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本研究以氯化锶、硝酸铋和钛酸丁酯为原料，柠檬酸为络合剂，乙二醇为交联剂，无水乙醇为钛酸丁酯的溶剂，盐酸为硝酸铋的溶剂，去离子水为氯化锶的溶剂，配制了稳定的SrBi4 Ti4O15(SBTi)
【机 构】
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太原理工大学 理学院物理系，山西 太原 030024
【出 处】
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第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
论文部分内容阅读
本研究以氯化锶、硝酸铋和钛酸丁酯为原料，柠檬酸为络合剂，乙二醇为交联剂，无水乙醇为钛酸丁酯的溶剂，盐酸为硝酸铋的溶剂，去离子水为氯化锶的溶剂，配制了稳定的SrBi4 Ti4O15(SBTi)前驱液。采用溶胶-凝胶工艺,在Al2O3、p-Si(111)和Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了SBTi铁电薄膜。研究了一次性晶化常规退火工艺、逐层晶化快速退火工艺对薄膜晶相组成的影响，并通过热处理工艺的控制制备了完全由铋层类钙钛矿相组成的SrBi4Ti4O15薄膜。实验结果表明，逐层快速退火工艺可有效抑制焦绿石相的形成。
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