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本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO<,3>膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO<,3>系列样品生长工艺有重要的意义.
SrTiO薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究
【摘 要】
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本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO系列样品生长工艺有重要的意义.
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)
【出 处】
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第五届中国功能材料及其学术会议
【发表日期】
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2004年10期
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