激光超声实现缺陷检测和薄膜力学性质表征的研究

来源 :2016年度全国检测声学与物理声学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanbour156
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  激光激发超声技术具有非接触、易于扫描、宽带、多模式同时激发等优点。本文介绍了我们利用激光超声在缺陷探测和材料性质表征方面的相关研究工作及进展情况。利用激发或(和)探测光源在样品表面扫描,通过探测激发光/探测光与缺陷作用后引起的超声信号在时延、幅值、频率上的变化来识别裂纹和缺陷,包括时间飞行散射法、扫描激光源法等,以及使裂纹产生呼吸从而实现闭合裂纹检测的激光辅助加热扫描源法等。另外,采用激光对称激发的方式在薄板中实现单一Lamb波S0模态的激发,可以对水下薄板中多裂纹进行识别和检测。激光超声技术的另一个主要应用是材料性质表征。利用加热施加热膨胀,通过测量不同温度下激光同时激发的多种模式声波声速并加权拟合的方式实现材料三阶弹性常数的测试。利用激光光源的灵活聚焦和空间调制特点分别激发宽带及窄带声表面波,利用不同传播方向、不同频段的声表面波的伪声表面波的色散,实现对各向同性多晶硅薄膜、各向异性金刚石厚膜等的弹性性质测量。
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