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用反应直流溅射方法，在抛光后的W18Cr4V高速钢基体的表面上制备TiN膜层。利用SEM对薄膜表面形貌进行了观测，通过色度计研究了氮气流量、偏压对TiN薄膜色泽的影响。结果表明，偏压和氮气流量对TiN色泽都有影响，而后者的影响更为明显。
磁控溅射TiN的色泽研究
【摘 要】
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用反应直流溅射方法，在抛光后的W18Cr4V高速钢基体的表面上制备TiN膜层。利用SEM对薄膜表面形貌进行了观测，通过色度计研究了氮气流量、偏压对TiN薄膜色泽的影响。结果表明，偏压
【机 构】
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天津师范大学,物理与电子信息学院,天津 300387
【出 处】
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第十二届全国固体薄膜会议
【发表日期】
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2010年期
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