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介绍了六氟化硫气体净化处理系统的工作过程，针对处理手段，工作流程、控制方式以及机械结构等技术问题进行探讨。指出，处理技术手段改变后，工作流程相应改变，净化处理单元进气、深冷单元进气以及深冷容器灌瓶的方式均需相应改变，引入蒸发器及缓冲罐以适应气体处理刘晨个，同时深冷单位液相报警、电气及控制等方式，均需作相应改变。