【摘 要】
：
四面体非晶碳膜(ta-C)具有超高硬度(～70GPa)、极光滑表面(Ra<3nm)、超低摩擦系数(COF<0.15)等优点，因此在机械、微机电系统中得到广泛应用.但由于其高残余应力导致厚膜难以制备，无法满足薄膜在机械系统应用中长寿命服役需求.本文采用磁过滤阴极真空电弧技术制备了ta-C薄膜，并比较了不同基体刻蚀工艺以及薄膜厚度对其结构与性能的影响.结果 表明：与辉光刻蚀相比，弧光刻蚀有利于制备较厚
【机 构】
：
中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室、浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201;上海大学 材料科学与工程学院,上海 200444
【出 处】
：
第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
论文部分内容阅读
四面体非晶碳膜(ta-C)具有超高硬度(～70GPa)、极光滑表面(Ra<3nm)、超低摩擦系数(COF<0.15)等优点，因此在机械、微机电系统中得到广泛应用.但由于其高残余应力导致厚膜难以制备，无法满足薄膜在机械系统应用中长寿命服役需求.本文采用磁过滤阴极真空电弧技术制备了ta-C薄膜，并比较了不同基体刻蚀工艺以及薄膜厚度对其结构与性能的影响.结果 表明：与辉光刻蚀相比，弧光刻蚀有利于制备较厚的ta-C薄膜，且薄膜具有较低的残余应力(降低33％)，较好的光学性能以及更高的sp3含量(It/Ig增加了58.5％).同时，在弧光刻蚀工艺基础上制备的不同厚度的ta-C薄膜，其sp3含量、硬度以及摩擦学性能随厚度的增加而增加，而当薄膜厚度到达一定值时，薄膜sp3含量及力学性能随厚度的增加而保持不变.
其他文献
莫来石是一种重要的陶瓷材料，它具有密度小、热稳定性好、耐腐蚀、热导率低、有较高的强度和抗蠕变性能等优异的性能.然而，莫来石涂层和高温合金之间由于热膨胀系数的不匹配性而产生的较大的残余应力极大的限制了其在热障涂层领域的应用.为了提高莫来石涂层的热膨胀系数，改善其热循环寿命，本文使用大气等离子喷涂技术制备莫来石涂层以及莫来石/氧化锆的复合涂层(10和20Vol％)，并对它们的热性能，机械性能和耐热循环
铝合金具有密度小、强度高、可加工性及焊接性能好等优点，被广泛应用在汽车、航空航天等领域。在实际使用中发现在盐雾环境、海洋环境、强对流热交换等特殊环境下，高强铝合金会发生不同程度的局部腐蚀，这些腐蚀对于铝合金基体造成一定的危害。本文综述了目前高强铝合金腐蚀机理的研究现状及铝合金表面改性的发展动态，指出铝合金表面改性的发展趋势。
Chromate has been in use as a passivator in the preparation of Zn-Al coating for long time,however,they are target of great criticism and could be definitely banned in the near future.As a result,some
研究了304不锈钢在25％硝酸中的钝化工艺，结果表明最佳钝化工艺为：温度50℃和时间30min.采用正交试验方法研究了304不锈钢在柠檬酸中的钝化工艺，结果表明，在50℃、30min钝化条件下，其最佳钝化液配方为：柠檬酸3％、双氧水5％、无水乙醇2.5％.采用电化学点蚀电位法、铁氰化钾-硝酸法和和铁氰化钾-硫酸-盐酸法对其钝化效果进行检测评价，结果表明：304不锈钢钝化后的点蚀电位明显高于未钝化的
本文对气体氧—氮碳复合处理的40Cr钢和H13钢渗层进行了Tafel极化曲线测定、浸泡试验和盐雾试验，分析气体后氧化温度对渗层耐腐蚀性能的影响规律。结果 表明：随着氧化温度的升高，试样的自腐蚀电位呈现先增大后减小的特点；随着氧化温度的升高浸泡试验中试样的腐蚀速率逐渐增大；随着后氧化温度的升高盐雾试验中试样出现锈点的时间逐渐缩短。气体氮碳共渗400℃×1h氧化处理的试样获得较好的耐腐蚀性能。
简述了水性转化型低表面处理涂料的研究现状及应用，该涂料具有施工简便、耐蚀性优良、安全环保等优点，在钢铁防腐领域具有很好的应用前景，阐述了水性转化型低表面处理涂料的配方设计和技术性能指标，考察了不同转化剂及其用量对涂层耐蚀性能的影响，并探讨了涂层的防腐机理。
由于芳香胺的活性很低,即使与盐酸反应也非常缓慢,因此,测定芳香胺胺值的方法多为液相色谱-质谱联用法、气相色谱-质谱联用法等,通过大型精密仪器来测定芳香胺胺值。然而,很多实验室不常用这些昂贵的大型精密仪器,所以制约了其应用。本文提供了一种实验室简单可行的低活性芳香胺胺值测定方法,我们选择多异氰酸酯与芳香胺反应,在80oC下回流2h,再返滴定剩余多异氰酸酯含量,从而计算出待测芳香胺胺值。其测量结果与色
以SATI、SPSS、Netdraw等软件为工具，对2000年以来聚氨酯相关的约三万篇论文题录进行了系统分析，总结得到了过去十多年间聚氨酯研究领域的大致发展情况以及各时间段的聚氨酯研究的热点变化规律，并据此推测其未来一段时间的发展趋势。
为了解决含镍废水污染环境的问题，研发了一种不含重金属镍盐的封闭技术.通过不同封闭工艺(无镍，醋酸镍，沸水，未封闭)的交流阻抗(EIS)和开路电位的电化学测试的比较，研究了该无镍封闭剂的封孔质量与特点.并通过磷铬酸失重试验进一步对各种封闭剂封孔质量进行了对比.试验结果表明：无镍封闭剂封孔的试样表面开路电位最正(309.5mv)，与前人EIS试验研究相似，阳极氧化多孔膜封闭后，封孔后样件表现为多孔层与
The Solution Precursor Plasma Spray (SPPS) process has been successfully used to deposit tungsten oxide single particle and coatings. The microstructure of single particle and coatings was characteriz