激光加速自支撑超薄碳膜的制备研究

来源 :第三届全国高能量密度物理会议暨第十五届中国空气动力学物理气体动力学学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:killme2005
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光学级CVD金刚石厚膜作为高性能耐磨透波材料在航空航天领域具有十分广阔的应用前景。本文利用直流等离子喷射法制备了直径为60mm的大面积光学级CVD金刚石厚膜,利用XRD和Raman研究了CVD金刚石厚膜的应力,获得了大面积光学级CVD金刚石厚膜应力的大小与分布特征,为CVD金刚石厚膜在光学领域的应用提供指导。