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本文主要研究表面硅工艺中的多晶硅材料沿晶界断裂问题。本文基于维诺图微观颗粒表示的方法，从微观的角度实现MEMS用的多晶硅材料的晶体颗粒表达，并赋予晶体颗粒材料属性及晶界分离信息，实现多晶硅材料沿晶断裂现象的仿真。本文首先使用维诺图来表示硅材料随机的微观颗粒拓扑结构。其中维诺图中每一单元及单元边界与多晶硅晶体颗粒及颗粒的边界相对应。由于多晶硅颗粒的形状只与工艺的参数有关，而与颗粒在区域哪个位置无关。