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铁酸铋外延薄膜的晶格倾斜
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室,北京 100083
【出 处】
：
第十四届全国电介质物理、材料与应用学术会议
【发表日期】
：
2012年期
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