【摘 要】
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大尺寸硅基LED是指在6时、8时、12时或更大尺寸的硅衬底上外延生长的LED.为使发光二极管(LED)元件价格更具竞争力,推进大尺寸硅衬底LED的发展已是未来的发展趋势.目前晶
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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大尺寸硅基LED是指在6时、8时、12时或更大尺寸的硅衬底上外延生长的LED.为使发光二极管(LED)元件价格更具竞争力,推进大尺寸硅衬底LED的发展已是未来的发展趋势.目前晶能光电已经成功地实现了Si衬底GaN基蓝光LED芯片的量产,成功地推出了Si2828,Si3535,Si4545和Si5555等四款硅基蓝光LED,在此基础上正在进行6时Si衬底外延和芯片的研制,预计在2013年实现量产.对于硅衬底而言,因材料本身与氮化镓的热膨胀系数差异,造成应力释放不易,导致外延层龟裂,良率难以提升,成本也会因而增加.然而大尺寸硅衬底是发展高性价比LED元件的关键,晶能光电多年前开始投入硅衬底外延和芯片研发,成功地解决了应力导致外延龟裂的问题,同时在光效及品质方面,也接近并超越了蓝宝石衬底LED.
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