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采用X射线衍射、电子扫描电镜和散射能谱等技术研究了自制的MoSi2发热元件以及国内外商用MoSi2发热元件的微观组织结构.研究结果表明:MoSi2发热元件的主要成分为MoSi2和陶瓷矿物.自制的MoSi2发热元件组织细小,黑色相分布均匀,表面保护膜薄,保护膜和基体形成楔入式结合,出现了明显的Mo5Si3相;在国内外发热元件中都发现了Mo-Si-Fe的化合物,国产发热元件组织粗大,黑色相发生严重团聚,保护膜和基体之间结合不紧密;国外产品保护膜厚度达20μm.