【摘 要】
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真空容器容积比的测量斱法通常有称重法和静态膨胀法，通常采用静态膨胀法，这种斱法是静态膨胀真空校准系统中精准测量容积比的主要収展趋势。目前，复杂结构真空容器容积比主
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所 兰州 73000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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真空容器容积比的测量斱法通常有称重法和静态膨胀法，通常采用静态膨胀法，这种斱法是静态膨胀真空校准系统中精准测量容积比的主要収展趋势。目前，复杂结构真空容器容积比主要是在较高的膨胀压力下进行测量，这样可以降低器壁放气对测量容积比的影响。当膨胀压力低于10？2pa 时，真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了减小在低压力下真空容器的放气对测量的影响，本文提出了利用非蒸散性吸气泵选择性抽气的特性，结合静态膨胀法利用氩气(Ar)、氦气(He)来测量真空容器的容积比。
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