一种透射型变形镜促动器的排布方式

来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jisenboss02

【摘要】

：

高数值孔径(NA)的折射式光刻机物镜需要透射型变形镜补偿非均匀热像差,因此本文以弹性力学为理论基础,提出一种连续表面分立驱动的透射型变形镜促动器的排布方式,该排布方式可提供变形镜产生低阶像差需要的弯矩、剪切力.通过有限单元分析软件模拟透射型变形镜分别产生Zernike 系数为100 nm 的离焦、彗差、像散低阶像差,结果表明,仿真的促动力与理论计算的结果相差均小于0.12N,该排布方式所需的促动力

【作者】

：

张敏

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033

【出处】

：

第十届全国激光技术与光电子学学术会议

【发表日期】

：

2015年5期

【关键词】

：

透射型变形镜促动器排布像差拟合误差

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