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MEMS微型科氏质量流量传感器输出信号的相位差与流过的微流量成比例关系.为解算传感器输出信号的微小相位差,使用插值FFT解算方法,计算出信号的相位修正系数,提高解算精度.对信号在不同窗函数处理下的插值算法进行了理论分析与实验验证,最终选取了解算精度较高的汉宁窗.初步的实流标定实验表明,利用加窗插值FFT相位差解算法的微流量传感器测量精度可达到1.5％，重复性最高可达到0.75％。