【摘 要】
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文介绍了一种基于氧化锌纳米棒的声表面波氨气传感器.传感器采用声表面波振荡器结构,选频元件为声表面波谐振器,并通过水热法在其表面生长氧化锌纳米棒阵列敏感薄膜,纳米
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,四川成都610054
【出 处】
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第二届全国危险物质与安全应急技术研讨会
论文部分内容阅读
文介绍了一种基于氧化锌纳米棒的声表面波氨气传感器.传感器采用声表面波振荡器结构,选频元件为声表面波谐振器,并通过水热法在其表面生长氧化锌纳米棒阵列敏感薄膜,纳米棒长度为～1um,直径～1 00nm.该敏感薄膜为三维结构,其比表面积较其他二维结构薄膜大几十倍.将此传感器在常温下进行测试,可以看到,该传感器具有灵敏度高,响应回复速度快等优点,且克服了现有NH3传感器工作温度高的缺点.
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