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本文采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备极薄的TiO2 薄膜，将其作为过渡层改善Pb0.6Sr0.4TiO3(PST40）的微观结构和电学性质。AFM和XRD 图显示了几纳米厚的TiO2 过渡层对提高PST 薄膜表面形貌和结晶度所起的作用。和直接生长在Pt 衬底上的PST 薄膜比较，加入过渡层后PST40 薄膜体现为(l00) 择优取向，且表面较平整，这一作用在生长第一层PST 薄膜时就已体现。同时过渡层的加入使PST 薄膜的电学性质得到了提高，包括介电常数和可协调度的增加，以及介电损耗的减小。