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真空中高频脉冲激光烧蚀双基药和POM的实验研究
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京,100029
【出 处】
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第三届全国高能量密度物理会议暨第十五届中国空气动力学物理气体动力学学术交流会
【发表日期】
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2011年期
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