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MEMS热电堆红外探测器是一种典型传感器，常作为均方根转换器、气体传感器、热流量计、辐射温度计的探测器件。本文使用黑体辐射源和半导体分析仪作为测量标准搭建一个测量平台，实现对热电堆红外探测器的性能参数的测量。
MEMS式热电堆红外探测器温度溯源研究
【摘 要】
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MEMS热电堆红外探测器是一种典型传感器，常作为均方根转换器、气体传感器、热流量计、辐射温度计的探测器件。本文使用黑体辐射源和半导体分析仪作为测量标准搭建一个测量
【机 构】
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北京市计量检测科学研究院
【出 处】
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第七届全国温度测量与控制学术交流会
【发表日期】
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2015年期
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