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本文针对针对1微米厚的薄膜Si电池，采用严格的耦合波理论，系统模拟了不同周期和不同深度亚波长结构对表面反射和电池吸收，结果表明，尽管高深宽比的亚波长结构获得的减反效果最佳，但事实上，由此带来的吸收增强非常有限。相反，P=500nm ,H>350nm的亚波长结构的Si电池，其光吸收要远高于上面反射率低的电池。