【摘 要】
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碲锌镉阵列探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有高空间分辨率、高能量分辨率和可室温下工作的特点.本文介绍了碲锌镉晶体的物理特性和工作原理,重点叙述了碲锌镉阵列探测器的制作工艺,包括晶片的预处理、钝化、欧姆电极制作、阵列模版选择、阵列封装工艺选择(微互联方式),成功制作了4*4 和8*8 碲锌镉阵列(厚度分别为5mm 和2mm,像素大小为2*2mm,gap 为0.15mm).在137Cs 放
【机 构】
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中国科学院紫金山天文台 暗物质与空间天文研究室 南京 210008
【出 处】
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第十届海峡两岸空间/太空科学研讨会
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碲锌镉阵列探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有高空间分辨率、高能量分辨率和可室温下工作的特点.本文介绍了碲锌镉晶体的物理特性和工作原理,重点叙述了碲锌镉阵列探测器的制作工艺,包括晶片的预处理、钝化、欧姆电极制作、阵列模版选择、阵列封装工艺选择(微互联方式),成功制作了4*4 和8*8 碲锌镉阵列(厚度分别为5mm 和2mm,像素大小为2*2mm,gap 为0.15mm).在137Cs 放射源照射下,利用自行研制基于ASIC 芯片的多通道电子读出系统,对4*4 碲锌镉阵列进行了实验评估,首次获得了16个像素的能谱以及对应的能量分辨本领,其最优分辨本领达4.8％@662KeV,并给出了可天文成像和偏振观测的基本设计.
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