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文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化，指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。
硅电容压力传感器及其产业化
【摘 要】
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文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化，指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院
【出 处】
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
【发表日期】
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2011年10期
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