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ＳＴＭ大气中对２０ｎｍ厚ＰＭＭＡ进行曝光。他们解决了定位和显影问题，得了５０ｎｍ宽的曝光线条。
STM大气中对PMMA曝光
【摘 要】
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ＳＴＭ大气中对２０ｎｍ厚ＰＭＭＡ进行曝光。他们解决了定位和显影问题，得了５０ｎｍ宽的曝光线条。
【机 构】
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科学院微电子中心(北京)
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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