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该文介绍一种利用磨削助剂进行硅片研磨的工艺。此工艺在国外相当普及，在国内也正在推广。这种助剂不仅具有良好的润滑和防锈性能，而且具有较强的悬浮能力。粘度适中和硅片研磨后易清洗等特点。
磨削助剂在磨片工艺中的应用
【摘 要】
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该文介绍一种利用磨削助剂进行硅片研磨的工艺。此工艺在国外相当普及，在国内也正在推广。这种助剂不仅具有良好的润滑和防锈性能，而且具有较强的悬浮能力。粘度适中和硅片研磨
【机 构】
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单晶硅片有限责任公司
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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