【摘 要】
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本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO光波导,测量了Z-切LiTaO光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△n)和X-切LiTaO光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分
【机 构】
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中国科学院长春光学机密机械与物理研究所激发态物理重点实验室中国科学院长春光学机密机械与物理研究所激发态物理重点实验室;应用光学国家重点实验室(长春)应用光学国家重点实验室(长春)
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本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO<,3>光波导,测量了Z-切LiTaO<,3>光波导的参数(交换深度d和表面折射率增量△n<,e>)和X-切LiTaO<,3>光波导的红外吸收谱,给出了光波导层的折射率分布,并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较.实验结果表明:非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO<,3>光波导基本相近,但表面非寻常折射率增量(△n<,e>)更大,其折射率分布更接近于高斯型.
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