【摘 要】
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复合分子泵具有抽速大、压缩比高的特点，在较宽压力范围内具有较高的抽气性能，已经成为检测仪器、半导体、薄膜制备等装置中清洁高真空环境获得的重要设备。针对涡轮-筒式复合分子泵的结构特点，提出了改进抽气性能的涡轮级与筒式牵引级间的过渡结构，并以科技部重大仪器专项开发的小型复合分子泵为例，通过理论分析计算和性能测试，证实了复合分子泵的抽速和压缩比均有显著提高。对复合分子泵筒式牵引级转子离心变形、热变形进行
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院真空与流体研究所,辽宁沈阳,110819 中国应用物理研究院机械制造工
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复合分子泵具有抽速大、压缩比高的特点，在较宽压力范围内具有较高的抽气性能，已经成为检测仪器、半导体、薄膜制备等装置中清洁高真空环境获得的重要设备。针对涡轮-筒式复合分子泵的结构特点，提出了改进抽气性能的涡轮级与筒式牵引级间的过渡结构，并以科技部重大仪器专项开发的小型复合分子泵为例，通过理论分析计算和性能测试，证实了复合分子泵的抽速和压缩比均有显著提高。对复合分子泵筒式牵引级转子离心变形、热变形进行分析计算，提出以转子-定子动态工作间隙作为评估分子泵性能的方法，变等间距静态装配间隙设计为等间距动态工作间隙设计，使泵的工作可靠性和抽气高效性得到统一。针对复合分子泵牵引级工作在过渡流态，转子-定子间隙泄漏加剧、压缩比下降明显等问题，提出减少牵引级间隙返流的阻挡结构和牵引级分段抽气结构，为进一步提高复合分子泵抽气性能、拓宽工作压力范围提供了设计思路。
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