【摘 要】
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加速度计是惯性导航、惯性制导和控制检测设备的重要测试元件，广泛应用于航空、航海和自动控制等领域。加速度信号的测量通常是利用惯性原理，通过感知惯性力所产生的位移或者应变而测得相应的加速度。目前，加速度的传感原理可分为以下几类:电容式、压电式、压阻式、磁阻式、光电式等。相对于基于电磁原理的加速度计，利用光学原理设计的加速度计具有显著的优势，例如，抗电磁干扰、电绝缘、响应快、高灵敏度、耐腐蚀等。常规的光
【机 构】
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微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室,南京,210096;东南大学苏州研究院苏州市金属纳米光电技术重点实验室,苏州,215123
【出 处】
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第十届全国塑料光纤聚合物光子学会议
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加速度计是惯性导航、惯性制导和控制检测设备的重要测试元件，广泛应用于航空、航海和自动控制等领域。加速度信号的测量通常是利用惯性原理，通过感知惯性力所产生的位移或者应变而测得相应的加速度。目前，加速度的传感原理可分为以下几类:电容式、压电式、压阻式、磁阻式、光电式等。相对于基于电磁原理的加速度计，利用光学原理设计的加速度计具有显著的优势，例如，抗电磁干扰、电绝缘、响应快、高灵敏度、耐腐蚀等。常规的光学加速度计采用光纤和分立的光学元件作为信号的载体，因而体积通常会比较大。随着集成光学技术的发展，基于微光机电系统的加速度计由于具有低成本、高集成度、体小质轻等优势而得到了越来越广泛的研究。本文展示了一种基于非对称结构马赫-曾德尔干涉(MZI)的柔性集成光学加速度计(MZIA)。该非对称MZI器件带有一个悬臂梁，且波导及衬底采用聚合物材料，从而实现器件的弹性特性。当所测量的加速度给柔性悬壁梁上施加惯性力时，MZI结构的长臂波导上将产生应力。由于光弹效应及波导物理延伸的作用，长臂波导中光的传输相位随着悬臂梁的弯曲而偏移。通过检测MZ干涉的输出光强，提取出所测量的加速度信号。本文研究了器件灵敏度与结构参数的关系，并制作了样品。此传感器结构简单，因而适合大规模生产。
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