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本文介绍了压电陶瓷的用途、应用原理、制造工艺，阐述了热电器件的用途、半导体微加工技术，以及发展前景。
《能量转换材料微结构及器件》
【摘 要】
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本文介绍了压电陶瓷的用途、应用原理、制造工艺，阐述了热电器件的用途、半导体微加工技术，以及发展前景。
【机 构】
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清华大学材料系
【出 处】
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首届粉体技术及纳米材料应用高级研讨会
【发表日期】
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2003年10期
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