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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学等领域的应用与存在的问题。
类金刚石膜的性能及应用
【摘 要】
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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学等领域的应用与存在的问题。
【机 构】
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吉林石化公司研究院,吉林吉林 132021
【出 处】
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中国化工学会2010年石油化工学术年会
【发表日期】
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2010年期
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