【摘 要】
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微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等.利用硅微加工工
【机 构】
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河北省计量科学研究院,050051
【出 处】
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中国科协2005年学术年会分会场——企业计量测试与质量管理
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微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等.利用硅微加工工艺制造与集成电路兼容的微小可动部件以及制造微小系统可以批量生产大大降低成本,具有节材、节能、小惯性、易控制.高速度、高信息密度、高互连密度等,由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,可以完成大尺寸系统所不能完成的任务,从而发现和解决新的科学问题,在诸多领域有广泛的应用与产业前景.本文简要介绍微系统的涵义、发展和重要特点.并通过讨论微系统在计量标准领域的应用,阐明微系统作为纳米科技一个重要组成部分的兴起将在未来为计量的发展提供新的机遇.
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