【摘 要】
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目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一.通常该器件以ITO为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO电极的设计制作,有利于器件的保护.用光刻技术进行ITO
【机 构】
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江南大学,理学院,江苏,无锡,214122
【出 处】
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第六届中国功能材料及其应用学术会议
论文部分内容阅读
目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一.通常该器件以ITO为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO电极的设计制作,有利于器件的保护.用光刻技术进行ITO电极的制作,可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良ITO电极的注意点,包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺,其中由于不同ITO玻璃的导电层厚度、各成分含量不同,所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻ITO电极的质量进行准确评价的一种简便方法。
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