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低能重离子注入固态靶材料会出现严重的溅射效应[1]，该溅射效应不仅影响固态靶材料表面的形态，而且会显著地影响注入元素在基底材料中的分布及其保存量。就离子注入固态材料纳米颗粒合成而言，注入元素的分布及其保存量对后续纳米颗粒的形成、大小及其分布[2]至关重要。
Zn和Ag离子共注入SiO2/Si Ag原子及纳米颗粒形成研究
【摘 要】
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低能重离子注入固态靶材料会出现严重的溅射效应[1]，该溅射效应不仅影响固态靶材料表面的形态，而且会显著地影响注入元素在基底材料中的分布及其保存量。就离子注入固态材
【机 构】
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天津大学理学院,天津 300072
【出 处】
：
中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
：
2013年期
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