【摘 要】
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高功率激光系统对其空间滤波透镜的中低频波前误差提出了要求.该空间滤波透镜为焦距超过10m、口径大于400*400mm的大口径长焦距球面透镜.本文设计了两种分别由大口径凹面反射镜和平面反射镜构成的自准直干涉检测光路,并使用动态干涉仪在长距离光路中检测长焦距透镜的中低频透射波前误差.以波像差和MTF作为评价函数,使用光线追迹方法设计检测光路.分析比较两种检测光路的系统误差及其成因.对两种光路中各光学元
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海市嘉定区清河路390号 201800;中国科学院大学,北京,100039
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高功率激光系统对其空间滤波透镜的中低频波前误差提出了要求.该空间滤波透镜为焦距超过10m、口径大于400*400mm的大口径长焦距球面透镜.本文设计了两种分别由大口径凹面反射镜和平面反射镜构成的自准直干涉检测光路,并使用动态干涉仪在长距离光路中检测长焦距透镜的中低频透射波前误差.以波像差和MTF作为评价函数,使用光线追迹方法设计检测光路.分析比较两种检测光路的系统误差及其成因.对两种光路中各光学元件的加工和装配公差进行分析,以评价两种检测光路的可行性.综合分析得出结论,使用大口径凹面反射镜的干涉检测光路,其光路总长相对以平面镜作为反射镜的光路较短,系统剩余波像差更小,加工、装配公差更合理.
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