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快脉冲测量探头用于监测大型脉冲功率装置运行状态及性能参数，要求是测量结果的准确性和可靠性。不同脉冲功率装置上的测量探头缺乏灵敏度和响应时间等可溯源到国家标准的标定结果，尤其是在MA级大电流和MV级高电压脉冲功率装置中，由于缺乏测量系统的不确定度评定，使得测量结果的准确性和可靠性受到很大质疑。理论上，快脉冲测量探头的标定主要分为频率扫描法和阶跃响应法，频率扫描法实现起来比较困难，而近似矩形的方波脉冲电压则比较容易实现，利用阶跃响应法对快脉冲测量探头进行标定是得到行业公认的标定方法。本文通过分析不同快脉冲测量探头的实际应用环境，利用同轴线脉冲成形原理，提出了快脉冲测量探头的两种标定方法：在线标定和离线标定，并建立了快脉冲测量探头测量系统的不确定度分析方法，本文提出的两种标定方法对快脉冲测量探头的规范化标定具有重要价值。